A porta da válvula de fenda é um componente especial para o isolamento da cavidade e o controle on-off em sistemas de vácuo. Nomeada por sua adaptação à abertura retangular "fenda de transferência" entre a cavidade de transferência e a cavidade de processo, ela cai na categoria de válvulas de isolamento accionadas por porta. Com sua estrutura compacta e desempenho de vedação confiável, tornou-se um componente chave de sistemas de vácuo em campos de fabricação de alta gama e pesquisa científica. Seu design central é desenvolvido em torno dos requisitos de vedação e isolamento de ambientes de vácuo, levando em conta a resposta de abertura-fechamento e o controle de limpeza, e é adequado para uma variedade de condições de trabalho duras.
Em termos de princípio de funcionamento, a porta da válvula de fenda realiza o on-off do caminho de fluxo através do movimento linear da placa do portão, formando uma barreira de isolamento entre cavidades. No estado fechado, a placa do portão está estreitamente ligada ao assento da válvula e o fluxo de gás é bloqueado pela pressão estrutural e pelas características das peças de vedação para manter o estado de vácuo dentro da cavidade. No estado aberto, a placa do portão sobe e cai verticalmente para o topo da cavidade da válvula, tornando o caminho de fluxo totalmente desobstruído e fornecendo um canal para a transferência de peças de trabalho, como wafers e substratos ou circulação de gás. São suportados métodos de condução pneumáticos, elétricos e outros, que podem ser selecionados de acordo com os requisitos de automação do sistema. Alguns modelos podem alcançar ações rápidas de abertura e fechamento para se adaptar ao ritmo de operação de condições de trabalho de alta frequência.
O projeto estrutural da porta da válvula de fenda tem uma pertinência distinta. O corpo da válvula é principalmente feito de materiais resistentes à corrosão, como aço inoxidável, que pode resistir à erosão dos meios de processo e do ambiente e prolongar a vida útil. A estrutura de vedação é otimizada e combinada com peças de vedação especiais para alcançar um baixo desempenho de vazamento, que pode atender aos requisitos de estanqueidade de ar de ambientes de alto vácuo e ultra-alto vácuo. Para atender aos requisitos de limpeza, o produto adota um design de baixa geração de partículas para reduzir as impurezas geradas pelo movimento e atrito da placa do portão e evitar poluir o ambiente de vácuo. Ao mesmo tempo, a estrutura geral é compacta e a profundidade de instalação é adaptada à limitação de espaço da abertura da fenda, que pode ser integrada sem problemas na posição de interface da cavidade de transferência e da cavidade do processo, levando em conta a conveniência de instalação e a compatibilidade do sistema.
As características principais também se refletem na adaptabilidade às condições de trabalho. Alguns modelos suportam condições de trabalho de cozimento a vácuo a alta temperatura, podem suportar uma certa gama de mudanças de temperatura sem afetar o desempenho de vedação; modelos selados totalmente metálicos podem se adaptar a ambientes de uso mais agressivos e lidar com os desafios trazidos por altas flutuações de pressão e temperatura. Além disso, a válvula tem alta estabilidade durante a operação e ainda pode manter o efeito de vedação e movimento suave após abertura e fechamento repetidos, reduzindo a frequência de manutenção.